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2BTECH 106L半導體工廠潔凈室臭氧分析儀設計用于測量低至很低ppb水平的環境臭氧濃度。然而，由于我們的臭氧監測儀的動態范圍大，106-L型也可用于濃度高達100ppm（100000 ppb）的臭氧的精確測量。該儀器的精度和精密度與我們最初的202型臭氧監測儀相當，該監測儀廣泛用于大氣研究人員的現場測量。

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