臭氧分析儀主要由低壓紫外燈、入射紫外光反射器、光波過(guò)濾器、臭氧吸收池、采樣光電傳感器、樣品光電傳感器、輸出顯示、電路部件構(gòu)成。是根據(jù)Lambert and Beer定律推出的。在這個(gè)臭氧濃度計(jì)算公式中，只要知道樣品電流、采樣電流和臭氧吸收池距離，那么我們可以計(jì)算出臭氧濃度大小。由于臭氧吸收池的距離的限制，大臭氧濃度只能測(cè)到300 O3 g/m。

　　臭氧分析儀的工作原理時(shí)通過(guò)空氣樣品以恒定的流速進(jìn)入儀器的氣路系統(tǒng)時(shí)，樣品空氣交替地或直接進(jìn)入吸收池或經(jīng)過(guò)臭氧滌除器再進(jìn)入吸收池，此時(shí)臭氧對(duì)254nm波長(zhǎng)的紫外光有特征吸收。當(dāng)零空氣樣品通過(guò)吸收池時(shí)被光度檢測(cè)器測(cè)定的光強(qiáng)度為I0；那么含臭氧的空氣樣品通過(guò)吸收池時(shí)，被光度檢測(cè)器測(cè)定的光強(qiáng)度為I。如此每經(jīng)過(guò)一個(gè)周期，儀器的數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)根據(jù)朗伯-比爾定律求出臭氧的濃度。