臭氧分析儀主要由低壓紫外燈、入射紫外光反射器、光波過濾器、臭氧吸收池、采樣光電傳感器、樣品光電傳感器、輸出顯示、電路部件構成。是根據Lambert and Beer定律推出的。在這個臭氧濃度計算公式中，只要知道樣品電流、采樣電流和臭氧吸收池距離，那么我們可以計算出臭氧濃度大小。由于臭氧吸收池的距離的限制，大臭氧濃度只能測到300 O3 g/m。

　　臭氧分析儀在使用時需注意的事項：

　　1、采樣管材料應選用抗強氧化的材料,如玻璃、聚四氟乙烯、聚偏二氟乙烯;不銹鋼材料也盡量少用,以減少采樣管中臭氧損耗.

　　2、采樣管應盡量短,測量低濃度時一般不要超過2m.

　　3、從采樣管到檢測儀器,不要漏氣,否則測量值偏低.

　　4、檢測較低濃度(如檢測環境)臭氧時,新的聚四氟乙烯管也要充分的進行“臭氧化”,即通過含較高濃度臭氧的氣體來穩定采樣管內壁.

　　5、采樣管要定時清洗、吹干.不清潔的采樣管會使測量值偏低很多.

　　6、臭氧分析儀要定時進行標定,以測量數據.